TRIASe+ Ti/TiN
概要(Overview)
Triase+™ Ti/TiN is a 300mm single-wafer metal CVD system for high step coverage Ti/TiN film formation using TiCl4.
現在の掲載品
4
サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス
Triase+™ Ti/TiN is a 300mm single-wafer metal CVD system for high step coverage Ti/TiN film formation using TiCl4.
4
検査、保証、鑑定、ロジスティクス