ATC-ORION 5 UHV
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PVD / Sputtering概要（Overview）
ATC-Orion 5 UHV with Load-Lock. Fitted with up to (5) 2" UHV magnetron sputter sources.
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ATC-Orion 5 UHV with Load-Lock. Fitted with up to (5) 2" UHV magnetron sputter sources.
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