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GALAXY 1000

カテゴリ
PVD / Sputtering
概要(Overview)

Galaxy 1000 cluster tool, Flow-Enhanced CVD, W, TiN processes for integrated W plug formation (combined with adhesion layer PVD and aluminum PVD).

現在の掲載品

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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