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市場 > PVD / Sputtering > ULVAC > CERAUS Z-2000

CERAUS Z-2000

カテゴリ
PVD / Sputtering
概要(Overview)

Ulvac: Ceraus Z-2000 cluster tool, very high vacuum (5e-9), aluminum and barrier metal applications, can be clustered to tungsten CVD system for integrated PVD/CVD applications.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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