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SV-6040

カテゴリ
PVD / Sputtering
概要(Overview)

Standard exhaust system: 12” Cryopump Ultimate pressure: 6.7e-5Pa Depot direction: side Deposition Area Uniformity Stationary Rotation: L300mm±10%

現在の掲載品

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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