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AG Associates 610 Rapid Thermal Processor. Benchtop system for rapid thermal processing of semiconductor wafers up to 6 in. dia. (depends on wafer tray). Programmable ramp up rates. Peak Temp.: 1350 deg C. Steady State Temp. Range: 400 to 1150 deg C. 208V, 1 Ph, 60 Hz, 100A.OEMモデルの説明
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ALLWIN21 / AG ASSOCIATES
HEATPULSE 610
検証済み
カテゴリ
RTP/RTA
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
17978
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
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HEATPULSE 610
検証済み
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最終検証： 60日以上前
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不明
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AG Associates 610 Rapid Thermal Processor. Benchtop system for rapid thermal processing of semiconductor wafers up to 6 in. dia. (depends on wafer tray). Programmable ramp up rates. Peak Temp.: 1350 deg C. Steady State Temp. Range: 400 to 1150 deg C. 208V, 1 Ph, 60 Hz, 100A.OEMモデルの説明
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