RTA-300H
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RTP/RTA概要（Overview）
Wafer Size: 8 ~ 12 inch SiC Edge Ring: 6” - 3 wafer, 8" - 1 wafer, 12" - 1 wafer
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Wafer Size: 8 ~ 12 inch SiC Edge Ring: 6” - 3 wafer, 8" - 1 wafer, 12" - 1 wafer
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