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Software Version LSA 05.09 Build 05 CIM SECS, GEM Process Laser Spike Anneal Main System Remote Rack 1 OK Main System EFEM 1 OK Main System Chamber 1 OK Factory Interface FOUP 2 OK Heat Exchanger 1 OKOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
106076
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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VEECO / ULTRATECH
LSA100A
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ウェーハサイズ：
12"/300mm
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Software Version LSA 05.09 Build 05 CIM SECS, GEM Process Laser Spike Anneal Main System Remote Rack 1 OK Main System EFEM 1 OK Main System Chamber 1 OK Factory Interface FOUP 2 OK Heat Exchanger 1 OKOEMモデルの説明
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