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市場 > RTP/RTA > ULVAC > V8-100LC

V8-100LC

カテゴリ
RTP/RTA
概要(Overview)

V8-25LC, V8-100LC, vertical furnace, full-load/short-load options (25 wafer loads), TEOS oxide, nitride, poly (doped and undoped), thermal oxide, anneals.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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