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DSC300 Gen3

カテゴリ
Lithography
概要(Overview)

The DSC300 Gen3 Scanner delivers 300 mm wafer throughput of > 90 wph at 400 mJ/cm2 and > 80 wph at 1000 mJ/cm2.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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