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市場 > Steppers & Scanners > ASML > TWINSCAN XT:1250i

TWINSCAN XT:1250i

概要(Overview)

The Twinscan XT:1250i makes use of 193-nm wavelength light and has a lens system with a numerical aperture of 0.85. It is described as a pre-production lithography scanner and marks a step-up from the Twinscan AT:1150i.

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