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市場 > Steppers & Scanners > ASML > TWINSCAN XT:400L

TWINSCAN XT:400L

概要(Overview)

The XT:400L is a dual-stage lithography system designed for volume production of 200 mm and 300 mm wafers down to a 220 nm resolution. High throughput and yield are combined with fast reticle exchange times and lot streaming to provide the lowest cost of operation

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