PAS 5000/70
概要(Overview)
First ASML 248nm stepper installed at IMEC (PAS5000/70) Industrial affiliation program on 28nm lithography.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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First ASML 248nm stepper installed at IMEC (PAS5000/70) Industrial affiliation program on 28nm lithography.
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