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市場 > Steppers & Scanners > ASML > PAS 5500/8TFH-A

PAS 5500/8TFH-A

概要(Overview)

The PAS 5500/8TFH-A KrF Step-and-Scan system is a dedicated lithography tool for thin-film head (TFH) production on 125-mm, 150-mm, and 200-mm AlTiC wafers.

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