説明
248nm (KrF) Scanner構成
構成なしOEMモデルの説明
"This step-and-scan system comes with a single stage lithography tool and 0.86 NA. It comes with NA KrF lens with 90nm. The Canon FPA-6000 ES6 can be configured for 200mm or 300mm wafers. Throughput for 300mm is ≥100wph (300mm,122shots) and for 200mm is ≥ 170wph."ドキュメント
ドキュメントなし
CANON
FPA-6000ES6
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 3日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
94584
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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FPA-6000ES6
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不明
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"This step-and-scan system comes with a single stage lithography tool and 0.86 NA. It comes with NA KrF lens with 90nm. The Canon FPA-6000 ES6 can be configured for 200mm or 300mm wafers. Throughput for 300mm is ≥100wph (300mm,122shots) and for 200mm is ≥ 170wph."ドキュメント
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