ATC-2030-E HV
概要(Overview)
ATC-2030-E HV. 6 pocket rotary e-beam source with load-lock, water-cooled substrate holder, and front side radiant substrate heating.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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ATC-2030-E HV. 6 pocket rotary e-beam source with load-lock, water-cooled substrate holder, and front side radiant substrate heating.
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