AFS-3220 FA
概要(Overview)
Wafer flatness measurements to 90nm line widths, 200mm/300mm, SOI and bare wafer capability. Measures thickness of wafers by electrical capacitance.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Wafer flatness measurements to 90nm line widths, 200mm/300mm, SOI and bare wafer capability. Measures thickness of wafers by electrical capacitance.
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