AR-4GSR
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Wafer Handling概要(Overview)
Glass atmosphere robots GlassSize: ~550*650 A(B)-axis (mm): 1480~1840 θ-axis(°): 330 Z-axis (mm): 400~1000 R-axis(°): 185° Transport weight (kg): 4~8
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Glass atmosphere robots GlassSize: ~550*650 A(B)-axis (mm): 1480~1840 θ-axis(°): 330 Z-axis (mm): 400~1000 R-axis(°): 185° Transport weight (kg): 4~8
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