AR-SV350G
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Wafer Handling概要(Overview)
Wafer vacuum robots Type: Single Arm Wafer Size: ~450mm A(B)-axis (mm): 705 θ-axis(°): ∞ Z-axis (mm): 50 Transport weight (kg): 6
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Wafer vacuum robots Type: Single Arm Wafer Size: ~450mm A(B)-axis (mm): 705 θ-axis(°): ∞ Z-axis (mm): 50 Transport weight (kg): 6
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