説明
説明なし構成
Process PE-ALD System Software Version Eagle I ASMJ software (Windows embedded XP / OS) Process PE-ALD Oxide, HT-SiO/HT-SiN Main System ASM PE-ALD System Mainframe 1 Handler System FI: Kawasaki / Vac: JEL 1 Factory Interface FOUP 2 Options System Others Process Chamber (RC3 / RC4) 2 Hardware Configuration (subfab/ auxiliary units): Power Rack 1OEMモデルの説明
Plasma enhanced atomic layer depositionドキュメント
ASM
EAGLE XP5
検証済み
カテゴリ
ALD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
72561
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASM
EAGLE XP5
カテゴリ
ALD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
72561
ウェーハサイズ：
12"/300mm
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