説明
Atomic layer deposition mainframe構成
ALD Main system: (Qty 2) Chambers Front end with load ports Vacuum transfer module FOUP Does not include: (Qty 2) Gate valves (Qty 3) Computers Back end robot (Qty 2) Chamber kitsOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
ASM
Eagle XP4
カテゴリ
ALD
最終検証： 12日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
151294
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2012
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Atomic layer deposition mainframe構成
ALD Main system: (Qty 2) Chambers Front end with load ports Vacuum transfer module FOUP Does not include: (Qty 2) Gate valves (Qty 3) Computers Back end robot (Qty 2) Chamber kitsOEMモデルの説明
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