説明
2 Chamber ALD: 1 Ox, 1 Metal Chamber: PM1 ADL Hi K, PM2 ALD Metal TM: Robot Brooks, MagnaTran7 LD: 2ea, Brooks Pump: 2ea, Edwards, IH1000 Acc: MKS Ozone,, ALD-Celsior FXP構成
2 Chamber ALD: 1 Ox, 1 Metal Chamber: PM1 ADL Hi K, PM2 ALD Metal TM: Robot Brooks, MagnaTran7 LD: 2ea, Brooks Pump: 2ea, Edwards, IH1000 Acc: MKS Ozone,OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
AVIZA
Celsior fxP
検証済み
カテゴリ
ALD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105411
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2000
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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ウェーハサイズ：
8"/200mm
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2 Chamber ALD: 1 Ox, 1 Metal Chamber: PM1 ADL Hi K, PM2 ALD Metal TM: Robot Brooks, MagnaTran7 LD: 2ea, Brooks Pump: 2ea, Edwards, IH1000 Acc: MKS Ozone,, ALD-Celsior FXP構成
2 Chamber ALD: 1 Ox, 1 Metal Chamber: PM1 ADL Hi K, PM2 ALD Metal TM: Robot Brooks, MagnaTran7 LD: 2ea, Brooks Pump: 2ea, Edwards, IH1000 Acc: MKS Ozone,OEMモデルの説明
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