説明
ETCH構成
ES3I 2 ChamberOEMモデルの説明
The new FusionES3i system supports nearly all dry-strip requirements for copper, low-k dielectric, deep trench and vias, and other applications in a single tool. Second generation 300mm photoresist strip system.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
123679
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
AXCELIS / FUSION
FUSION ES3i
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
123679
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
ETCH構成
ES3I 2 ChamberOEMモデルの説明
The new FusionES3i system supports nearly all dry-strip requirements for copper, low-k dielectric, deep trench and vias, and other applications in a single tool. Second generation 300mm photoresist strip system.ドキュメント
ドキュメントなし