説明
説明なし構成
Barrel type photoresist asher. The process gas is oxygen (O2). The system is for the stripping of photoresist -Power Range: < 200 W -Pressure Range: < 500 mTorr -Included: RF Generator/Power Supply (120 V 60hz), Vacuum pump, and chamberOEMモデルの説明
Ashersドキュメント
ドキュメントなし
TEGAL
PLASMALINE 421
検証済み
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
101880
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Barrel type photoresist asher. The process gas is oxygen (O2). The system is for the stripping of photoresist -Power Range: < 200 W -Pressure Range: < 500 mTorr -Included: RF Generator/Power Supply (120 V 60hz), Vacuum pump, and chamberOEMモデルの説明
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