説明
説明なし構成
Barrel type photoresist asher. The process gas is oxygen (O2). The system is for the stripping of photoresist -Power Range: < 200 W -Pressure Range: < 500 mTorr -Included: RF Generator/Power Supply (120 V 60hz), Vacuum pump, and chamberOEMモデルの説明
Ashersドキュメント
ドキュメントなし
TEGAL
PLASMALINE 421
検証済み
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
101880
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
TEGAL
PLASMALINE 421
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
101880
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
Barrel type photoresist asher. The process gas is oxygen (O2). The system is for the stripping of photoresist -Power Range: < 200 W -Pressure Range: < 500 mTorr -Included: RF Generator/Power Supply (120 V 60hz), Vacuum pump, and chamberOEMモデルの説明
Ashersドキュメント
ドキュメントなし