TOK
TCA-7822S
カテゴリ
Ashers / Plasma Cleaner
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
130349
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
2008
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
power 3 pump 3 chiller 1構成
Process Gas:CDA/N2/P-O2/CF4OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
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