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PEP3510A is a dry chemistry downstream processing system for photoresist removal, manufactured by GaSonics. It incorporates the company’s proprietary microwave downstream processing technology and is designed for advanced IC manufacturers. The system can handle feature sizes of 0.25 microns and below, with throughput rates ranging from approximately 45 to 55 wafers per hour.ドキュメント
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LAM RESEARCH / NOVELLUS / GASONICS
L3510
検証済み
カテゴリ
Ashers
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
102410
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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LAM RESEARCH / NOVELLUS / GASONICS
L3510
検証済み
カテゴリ
Ashers
最終検証： 25日前
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不明
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102410
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不明
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不明
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PEP3510A is a dry chemistry downstream processing system for photoresist removal, manufactured by GaSonics. It incorporates the company’s proprietary microwave downstream processing technology and is designed for advanced IC manufacturers. The system can handle feature sizes of 0.25 microns and below, with throughput rates ranging from approximately 45 to 55 wafers per hour.ドキュメント
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