説明
The device is disassembled and stored in a warm and dry warehouse. Processable substrates: with Ø 200 mm or 156 mm × 156 mm edge length Maximum thickness: 2 mm Capacity (depending on configuration and layer structure): up to 1200 substrates per hour Cycle time: < 3 seconds Dimensions and weight of the system: Main system dimensions: L × W × H [cm] = 335 × 225 × 155 Main system weight: 3.3 t Media supply: Gases: argon, oxygen, forming gas (Ar:H2 = 95:5), nitrogen High voltage Compressed air Cooling water構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Coaters & Developers
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
134375
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
EVATEC / BALZERS
SOLARIS S151
カテゴリ
Coaters & Developers
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
134375
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
The device is disassembled and stored in a warm and dry warehouse. Processable substrates: with Ø 200 mm or 156 mm × 156 mm edge length Maximum thickness: 2 mm Capacity (depending on configuration and layer structure): up to 1200 substrates per hour Cycle time: < 3 seconds Dimensions and weight of the system: Main system dimensions: L × W × H [cm] = 335 × 225 × 155 Main system weight: 3.3 t Media supply: Gases: argon, oxygen, forming gas (Ar:H2 = 95:5), nitrogen High voltage Compressed air Cooling water構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし