説明
Cluster Spin Coater System構成
configured for 97mm disk, 380V, 3ph, 60Hz, w/ coater module, thermal module w/ 2ea hotplates, 1ea chillplate, 2ea vacuum plate; alignment module. Includes: media storage tank; Julabo F30-CL recirculating chiller; Thermo Neslab RTE7 recirculating chiller, power cabinet; manuals. 50in x 48in x 80in H.OEMモデルの説明
Priming + Spin Coating + Spray Coating + Baking + Development up to 200 mmドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Coaters & Developers
最終検証： 昨日
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
147628
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2008
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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SUSS MicroTec / KARL SUSS
GAMMA
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Coaters & Developers
最終検証： 昨日
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状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
147628
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2008
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
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Available
説明
Cluster Spin Coater System構成
configured for 97mm disk, 380V, 3ph, 60Hz, w/ coater module, thermal module w/ 2ea hotplates, 1ea chillplate, 2ea vacuum plate; alignment module. Includes: media storage tank; Julabo F30-CL recirculating chiller; Thermo Neslab RTE7 recirculating chiller, power cabinet; manuals. 50in x 48in x 80in H.OEMモデルの説明
Priming + Spin Coating + Spray Coating + Baking + Development up to 200 mmドキュメント
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