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Main: Indexer Robot and 4 loadports TR is Transfer Robot 4X Module 1: 2X coater PSC 10 pompen en 10 pompen 1X barc 8 pompen AHL primer 2X Chillplate CP 4X Rapid hotplate RHH 1X Precision rapid hotplate PRHH 3X Precision super rapid hotplate PSRHP 3X Module 2: Empty metrology space Module 3: 2X topcoat SCTC 6 pompen en 6 pompen 2X Developer SDECO Chillplate CP 3X Hotplate HP 2X Precision rapid hotplate PRHH 2X Precision vacuum rapid hotplate PVRHP 5X Precision Hotplate PHP 1XOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Coaters & Developers
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
65036
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
SCREEN / SOKUDO
RF3i
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