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CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V incorporates all of the advanced technology of the proven CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V. It enables higher throughput, increases wafers per day, and improves overall equipment efficiency. Additionally, it also meets industry requirements for versatile lithography equipment capable of leading edge processes, including double patterning.ドキュメント
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TEL / TOKYO ELECTRON
LITHIUS Pro V
検証済み
カテゴリ
Coaters & Developers
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
102810
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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TEL / TOKYO ELECTRON
LITHIUS Pro V
検証済み
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Coaters & Developers
最終検証： 15日前
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稼働ステータス:
不明
製品ID：
102810
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不明
ヴィンテージ：
不明
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CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V incorporates all of the advanced technology of the proven CLEAN TRACK™ LITHIUS Pro™ V. It enables higher throughput, increases wafers per day, and improves overall equipment efficiency. Additionally, it also meets industry requirements for versatile lithography equipment capable of leading edge processes, including double patterning.ドキュメント
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