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TEL / TOKYO ELECTRON LITHIUS
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    OEMモデルの説明
    The CLEAN TRACK™ LITHIUS™ Series is the latest coater/developer equipped with high-technology succeeding from the CLEAN TRACK™ ACT™ series. The key concepts are extensibility to advanced processes, high throughput, reduced footprint, improved OEE (Overall Equipment Efficiency), and CoO (Cost of Ownership) reduction. Successor to the ACT - 200mm or 300mm, more modules and faster throughput (150 wph).
    ドキュメント

    ドキュメントなし

    TEL / TOKYO ELECTRON

    LITHIUS

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    検証済み

    カテゴリ
    Coaters & Developers

    最終検証: 10日前

    主なアイテムの詳細

    状態:

    Used


    稼働ステータス:

    不明


    製品ID:

    99682


    ウェーハサイズ:

    不明


    ヴィンテージ:

    2005

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    TEL / TOKYO ELECTRON LITHIUS

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    Coaters & Developers
    ヴィンテージ: 2005状態: 中古
    最終確認30日以上前

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    最終検証: 10日前
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    2005


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    The CLEAN TRACK™ LITHIUS™ Series is the latest coater/developer equipped with high-technology succeeding from the CLEAN TRACK™ ACT™ series. The key concepts are extensibility to advanced processes, high throughput, reduced footprint, improved OEE (Overall Equipment Efficiency), and CoO (Cost of Ownership) reduction. Successor to the ACT - 200mm or 300mm, more modules and faster throughput (150 wph).
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    Coaters & Developersヴィンテージ: 2005状態: 中古最終検証: 30日以上前