説明
Multi Block (Resist Coater/Developer)構成
構成なしOEMモデルの説明
The CLEAN TRACK™ LITHIUS™ Series is the latest coater/developer equipped with high-technology succeeding from the CLEAN TRACK™ ACT™ series. The key concepts are extensibility to advanced processes, high throughput, reduced footprint, improved OEE (Overall Equipment Efficiency), and CoO (Cost of Ownership) reduction. Successor to the ACT - 200mm or 300mm, more modules and faster throughput (150 wph).ドキュメント
ドキュメントなし
TEL / TOKYO ELECTRON
LITHIUS
検証済み
カテゴリ
Coaters & Developers
最終検証： 4日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
91859
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Multi Block (Resist Coater/Developer)構成
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The CLEAN TRACK™ LITHIUS™ Series is the latest coater/developer equipped with high-technology succeeding from the CLEAN TRACK™ ACT™ series. The key concepts are extensibility to advanced processes, high throughput, reduced footprint, improved OEE (Overall Equipment Efficiency), and CoO (Cost of Ownership) reduction. Successor to the ACT - 200mm or 300mm, more modules and faster throughput (150 wph).ドキュメント
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