説明
説明なし構成
WOEMモデルの説明
The ALTUS Max is a tungsten deposition system that provides advanced contact and via fill technology. It is designed to deliver high productivity and is the first ALD tungsten system to achieve a throughput of over 120 wafers per hour. This sets a new benchmark in productivity while maintaining world-class reliability and single-digit 65 nm defect performance. The ALTUS Max is a powerful tool for semiconductor manufacturing.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
CVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
117014
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LAM RESEARCH / NOVELLUS
CONCEPT THREE "C3" ALTUS MAX
カテゴリ
CVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
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稼働ステータス:
不明
製品ID：
117014
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
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Available
Transaction Insured by Moov
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WOEMモデルの説明
The ALTUS Max is a tungsten deposition system that provides advanced contact and via fill technology. It is designed to deliver high productivity and is the first ALD tungsten system to achieve a throughput of over 120 wafers per hour. This sets a new benchmark in productivity while maintaining world-class reliability and single-digit 65 nm defect performance. The ALTUS Max is a powerful tool for semiconductor manufacturing.ドキュメント
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