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2020

カテゴリ
Defect Inspection
概要(Overview)

The KLA 2020 is die older-generation model, which has both inspection and critical-dimension measurement (CD) capability. CD is the measurement of the circuit and line dimensions on the wafer, which are typically on the order of one micron or less.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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