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市場 > Defect Inspection > KLA > SURFSCAN SP5

SURFSCAN SP5

カテゴリ
Defect Inspection
概要(Overview)

The Surfscan SP5 is a high-throughput, DUV-sensitive system for inspecting unpatterned wafer surfaces. It’s used in IC, substrate, and equipment manufacturing at the 2X/1Xnm design nodes.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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