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TPC-8500

カテゴリ
Defect Inspection
概要(Overview)

Inspex (Marubeni Hytech): TPC-8500 particle detection tool, 0.19-micron resolution on bare wafer, 0.35-micron resolution on single patterned layer.

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サービス

検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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