TPC-8500
概要(Overview)
Inspex (Marubeni Hytech): TPC-8500 particle detection tool, 0.19-micron resolution on bare wafer, 0.35-micron resolution on single patterned layer.
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
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Inspex (Marubeni Hytech): TPC-8500 particle detection tool, 0.19-micron resolution on bare wafer, 0.35-micron resolution on single patterned layer.
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