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224

概要(Overview)

The KLA-224 Automatic Reticle Inspection System is designed for dedicated, high-volume reticle inspection applications. This system gives you extremely high throughput on SX and 1 OX reticles, and provides repeating defect inspection for photomasks and multi­die reticles.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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