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市場 > Defect Inspection > KLA > Teron 640e

Teron 640e

カテゴリ
Defect Inspection
概要(Overview)

The Teron 640e reticle inspection product line, introduced in September 2017, incorporates optical, detector and algorithm enhancements that detect critical pattern and particle defects at high throughput, advancing the development and qualification of EUV and optical patterned reticles in leading-edge mask shops.

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検査、保証、鑑定、ロジスティクス

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