INOVA xT
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Deposition概要（Overview）
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).
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検査、保証、鑑定、ロジスティクス
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).
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