説明
Al PVD構成
TMP(turbo Pump) MFC(flow control) RF ESC/HEATER Chamber 1 LAM Chamber/Q300 Ti/TiN Chamber 2 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 3 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 5 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 6 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 7 LAM Chamber/Q300 Ti/TiNOEMモデルの説明
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).ドキュメント
ドキュメントなし
LAM RESEARCH / NOVELLUS
INOVA xT
検証済み
カテゴリ
Deposition
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
95975
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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LAM RESEARCH / NOVELLUS
INOVA xT
検証済み
カテゴリ
Deposition
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
95975
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
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Available
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説明
Al PVD構成
TMP(turbo Pump) MFC(flow control) RF ESC/HEATER Chamber 1 LAM Chamber/Q300 Ti/TiN Chamber 2 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 3 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 5 LAM Chamber/Q300 Al Chamber 6 LAM Chamber/HCM Ti Chamber 7 LAM Chamber/Q300 Ti/TiNOEMモデルの説明
The INOVA xT is a 300mm version of INOVA with proven HCM extendability to the 0.10-micron technology node. It has an industry-leading throughput of 100 wafers per hour (wph).ドキュメント
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