説明
METAL CVD構成
Q: What are the ranges of the flow controllers and what gases? A: CIF3 500sccm / N2 2SLM / NH3 5SLM / NH3 500sccm / N2 2SLM / NH3 1SLMOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
TEL / TOKYO ELECTRON
TRIAS TI/TIN
検証済み
カテゴリ
Deposition
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
35051
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2011
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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Used
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不明
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35051
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Q: What are the ranges of the flow controllers and what gases? A: CIF3 500sccm / N2 2SLM / NH3 5SLM / NH3 500sccm / N2 2SLM / NH3 1SLMOEMモデルの説明
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