説明
CVD system構成
Known issues: Not included: Chamber Gate Valve; MFC7; (Qty 2) LM-Arm End Effector Pads (Rear); (Qty 2) Chamber APC Valve; LM-Robot (Front-End); (Qty 3) Process Kit; (Qty 2) LM-Arm End Effector Pads (Front); Chemgaurd ClF3 Cabinet; (Qty 3) Chamber Trap Trias Mainframe (Qty 3) EXII Chamber FOUP Factory Interface Yaskawa Dual Arm Handler Process: TiN Software Version: V5 750R1 CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
Triase+™ Ti/TiN is a 300mm single-wafer metal CVD system for high step coverage Ti/TiN film formation using TiCl4.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Deposition
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154819
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2022
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
TEL / TOKYO ELECTRON
TRIASe+ Ti/TiN
カテゴリ
Deposition
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154819
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2022
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
CVD system構成
Known issues: Not included: Chamber Gate Valve; MFC7; (Qty 2) LM-Arm End Effector Pads (Rear); (Qty 2) Chamber APC Valve; LM-Robot (Front-End); (Qty 3) Process Kit; (Qty 2) LM-Arm End Effector Pads (Front); Chemgaurd ClF3 Cabinet; (Qty 3) Chamber Trap Trias Mainframe (Qty 3) EXII Chamber FOUP Factory Interface Yaskawa Dual Arm Handler Process: TiN Software Version: V5 750R1 CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
Triase+™ Ti/TiN is a 300mm single-wafer metal CVD system for high step coverage Ti/TiN film formation using TiCl4.ドキュメント
ドキュメントなし