説明
MFC Missing Chamber leak test complete構成
(3) Chambers Oxide chamber for EMXP+, 6" HP / VHP Robot VME1 / VME2 Gas panelOEMモデルの説明
The AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 is an Etchers & Ashers system. The centura 5200 can be used with 8” wafer size and oxidation etchers size is also 8”. The Centura architecture clusters four processing stations and two auxiliary chambers around a central transfer module containing an ultra-reliable magnetically-coupled vacuum robot.ドキュメント
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APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA 5200
検証済み
カテゴリ
Dry Etch
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
89468
ウェーハサイズ：
6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
1994
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA 5200
検証済み
カテゴリ
Dry Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
89468
ウェーハサイズ：
6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
1994
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
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Available
説明
MFC Missing Chamber leak test complete構成
(3) Chambers Oxide chamber for EMXP+, 6" HP / VHP Robot VME1 / VME2 Gas panelOEMモデルの説明
The AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 is an Etchers & Ashers system. The centura 5200 can be used with 8” wafer size and oxidation etchers size is also 8”. The Centura architecture clusters four processing stations and two auxiliary chambers around a central transfer module containing an ultra-reliable magnetically-coupled vacuum robot.ドキュメント
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