ILD-4100
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Dry Etch概要(Overview)
Anelva: ILD-4100 three-chamber cluster tool. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), can be configured with Helicon, RIE, and microwave downstream asher chambers, metal etch, poly etch processes.
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サービス
検査、保証、鑑定、ロジスティクス