説明
Complete Tool構成
EtchOEMモデルの説明
Anelva: ILD-4100 three-chamber cluster tool. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), can be configured with Helicon, RIE, and microwave downstream asher chambers, metal etch, poly etch processes.ドキュメント
ドキュメントなし
CANON / ANELVA
ILD-4100
検証済み
カテゴリ
Dry Etch
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
71872
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
CANON / ANELVA
ILD-4100
検証済み
カテゴリ
Dry Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
71872
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Complete Tool構成
EtchOEMモデルの説明
Anelva: ILD-4100 three-chamber cluster tool. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), can be configured with Helicon, RIE, and microwave downstream asher chambers, metal etch, poly etch processes.ドキュメント
ドキュメントなし