説明
eMax CT Dielectric etch chamber Turbo pump: Alcatel ATH 1600M RF Match Box: Bias 13.5 MHz / Daihen RMN-50M2 (p/n : 0190-10906) Throttle Valve Assy: VAT (p/n : 0010-04145) RF Generator: 13.56 MHz ENI GHW-25A FIB: eFib, wFib (Facilities Interface Box) Chamber Equip Cart: included構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
APPLIED MATERIALS (AMAT)
eMAX CT
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
109954
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2003
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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eMAX CT
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不明
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不明
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eMax CT Dielectric etch chamber Turbo pump: Alcatel ATH 1600M RF Match Box: Bias 13.5 MHz / Daihen RMN-50M2 (p/n : 0190-10906) Throttle Valve Assy: VAT (p/n : 0010-04145) RF Generator: 13.56 MHz ENI GHW-25A FIB: eFib, wFib (Facilities Interface Box) Chamber Equip Cart: included構成
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