説明
説明なし構成
構成なしOEMモデルの説明
Anelva: ILD-4100 three-chamber cluster tool. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), can be configured with Helicon, RIE, and microwave downstream asher chambers, metal etch, poly etch processes.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
137690
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
CANON / ANELVA
ILD-4100
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
137690
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
構成なしOEMモデルの説明
Anelva: ILD-4100 three-chamber cluster tool. Helicon wave source licensed from Plasma and Materials Technology (MORI source), can be configured with Helicon, RIE, and microwave downstream asher chambers, metal etch, poly etch processes.ドキュメント
ドキュメントなし