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FOI RYDEEN-10000
  • FOI RYDEEN-10000
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説明
説明なし
構成
Brooks ATR8 load port *2 Brooks ATR8 robot *1 Brooks Magan7 robot *1 SMC chiller *1 IH600 ритр *2 1H80 pump*1 VAT valve*4 RF generator *2 Metch.box controller*2 Metch.box *2 wafer sensor *2 lift pin driver *2 lift pin motor *2 SMC solinoed valve assit *1 chamber door bellows * 4 Load lock door valve *2 pressure detector *2 Monitor*1 FE area lonizer bar(power supply)*2
OEMモデルの説明
High Performance Dry Ashing System
ドキュメント

ドキュメントなし

FOI

RYDEEN-10000

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検証済み

カテゴリ
Dry / Plasma Etch

最終検証： 60日以上前

主なアイテムの詳細
状態：

Used

稼働ステータス:

不明

製品ID：

82275

ウェーハサイズ：

不明

ヴィンテージ：

不明

Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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FOI RYDEEN-10000

FOI

RYDEEN-10000

Dry / Plasma Etch
ヴィンテージ： 0状態： 中古
最終確認60日以上前

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検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
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主なアイテムの詳細
状態：

Used

稼働ステータス:

不明

製品ID：

82275

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不明

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不明

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説明
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Brooks ATR8 load port *2 Brooks ATR8 robot *1 Brooks Magan7 robot *1 SMC chiller *1 IH600 ритр *2 1H80 pump*1 VAT valve*4 RF generator *2 Metch.box controller*2 Metch.box *2 wafer sensor *2 lift pin driver *2 lift pin motor *2 SMC solinoed valve assit *1 chamber door bellows * 4 Load lock door valve *2 pressure detector *2 Monitor*1 FE area lonizer bar(power supply)*2
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ドキュメント

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Dry / Plasma Etchヴィンテージ： 0状態： 中古最終検証：60日以上前