説明
説明なし構成
Brooks ATR8 load port *2 Brooks ATR8 robot *1 Brooks Magan7 robot *1 SMC chiller *1 IH600 ритр *2 1H80 pump*1 VAT valve*4 RF generator *2 Metch.box controller*2 Metch.box *2 wafer sensor *2 lift pin driver *2 lift pin motor *2 SMC solinoed valve assit *1 chamber door bellows * 4 Load lock door valve *2 pressure detector *2 Monitor*1 FE area lonizer bar(power supply)*2OEMモデルの説明
High Performance Dry Ashing Systemドキュメント
ドキュメントなし
FOI
RYDEEN-10000
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
82275
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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