説明
1. Software abnormal Pending processing ( The machine screen is unresponsive. A bunch of alarm) 2. EC magnetron generator 3. AC magnetron generator 4. EC TMP and TMP controller 5. BR dry pump 6. AC dry pump 7. LC UC Motor 8. chiller 9.EC Dry pump A30W 10.PM parts lackEC WAFER CLAMP 11.PM parts lack EC ELECTRODE COVER 12.PM parts lack EC GROUND ELECTRODE構成
構成なしOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
HITACHI
M-308ATE
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
142660
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
1. Software abnormal Pending processing ( The machine screen is unresponsive. A bunch of alarm) 2. EC magnetron generator 3. AC magnetron generator 4. EC TMP and TMP controller 5. BR dry pump 6. AC dry pump 7. LC UC Motor 8. chiller 9.EC Dry pump A30W 10.PM parts lackEC WAFER CLAMP 11.PM parts lack EC ELECTRODE COVER 12.PM parts lack EC GROUND ELECTRODE構成
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