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HITACHI M 712
    説明
    説明なし
    構成
    Type: 300mm M712 mainframe M711 setup one Etch chamber Software revision: 1.07 PMv.02.16M Etcher, 12" (3) Cassettes Positions SECS II Interface: HSMS Neslab coolflow III Chiller Power supply: 208 VAC, 3-Phase, 50/60 Hz Mainframe: Robot P/N: CR-712V HITACHI 3 position Loader Chamber: ESC Type: Bipolar Endpoint type: Hitachi EPD monitor ePMv02.16M SHIMAZU EC TMP 3203LMC-K1 EC TMP Controller DAIHEN ES7-IIA EC Source generator PEARL CF-500-400K EC Bias generator Gas configuration: Line / EC1 / Strip 1 / Ar 2 / C12 3 / SF6 4 / HBr 5 / CF3 6 / CH4 7 / NF3 8 / O2 9 / N2 10/ SF6 11/ C12 12/ O2
    OEMモデルの説明
    提供なし
    ドキュメント

    ドキュメントなし

    HITACHI

    M 712

    verified-listing-icon

    検証済み

    カテゴリ
    Dry / Plasma Etch

    最終検証: 60日以上前

    主なアイテムの詳細

    状態:

    Used


    稼働ステータス:

    不明


    製品ID:

    65310


    ウェーハサイズ:

    12"/300mm


    ヴィンテージ:

    2006


    Have Additional Questions?
    Logistics Support
    Available
    Money Back Guarantee
    Available
    Transaction Insured by Moov
    Available
    Refurbishment Services
    Available
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    Dry / Plasma Etch
    ヴィンテージ: 2006状態: 中古
    最終確認60日以上前

    HITACHI

    M 712

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    検証済み
    カテゴリ
    Dry / Plasma Etch
    最終検証: 60日以上前
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    状態:

    Used


    稼働ステータス:

    不明


    製品ID:

    65310


    ウェーハサイズ:

    12"/300mm


    ヴィンテージ:

    2006


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